[实用新型]一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶

摘要

本实用新型涉及尾气处理技术领域，具体涉及一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，包括反应过滤桶本体、输气管、外套管、支撑环、螺纹管、连接管、顶环和滤网；外套管和输气管固定连接且连通，支撑环和外套管固定连接，螺纹管和外套管滑动连接，连接管和螺纹管螺纹连接，顶环和连接管固定连接，滤网设置于支撑环和顶环之间；将连接管与半导体加工尾气连接，尾气进入连接管内经滤网进行过滤，过滤掉尾气中的颗粒杂质，尾气过滤后经外套管和输气管进入反应过滤桶本体内进行再次过滤，而后再将净化后的尾气排出，从而能够对尾气中的颗粒杂质进行过滤。