[实用新型]一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶

说明书

本实用新型涉及尾气处理技术领域，具体涉及一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，包括反应过滤桶本体、输气管、外套管、支撑环、螺纹管、连接管、顶环和滤网；外套管和输气管固定连接且连通，支撑环和外套管固定连接，螺纹管和外套管滑动连接，连接管和螺纹管螺纹连接，顶环和连接管固定连接，滤网设置于支撑环和顶环之间；将连接管与半导体加工尾气连接，尾气进入连接管内经滤网进行过滤，过滤掉尾气中的颗粒杂质，尾气过滤后经外套管和输气管进入反应过滤桶本体内进行再次过滤，而后再将净化后的尾气排出，从而能够对尾气中的颗粒杂质进行过滤。

技术领域

本实用新型涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用；如二极管就是采用半导体制作的器件；无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体重要性都是非常巨大的；今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，半导体工业中尾气中含有HF、HCl、SO2等需要处理的气体，会对外部的空气造成污染，因此需要利用尾气处理设备进行过滤处理。

目前现有技术CN212369786U公开了一种应用于半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，包括支架和过滤外筒，所述过滤外筒的下表面中部连接有下输气管，所述下输气管的侧壁上连接有侧输气管，所述下输气管、侧输气管均为双层结构，所述下输气管的内层与侧输气管的内层连通，所述下输气管的外层与侧输气管的外层连通，所述侧输气管的侧壁上端连接有进气口，所述侧输气管的顶端连接有出气口，通过双层侧输气管、下输气管、缓流座的双层设计，能够减少空间的占用，整体性较好；通过内隔离筒与过滤外筒之间的配合作用，能够将进气和出气分离开；通过内置的反应过滤芯对尾气中需要处理的气体进行反应并过滤杂质。

采用上述方式，无法对尾气中的颗粒杂质进行过滤，过滤效果不足。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，能够对尾气中的颗粒杂质进行过滤。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，包括反应过滤桶本体和输气管；所述输气管和所述反应过滤桶本体连通，并位于所述反应过滤桶本体侧边；所述半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶还包括外套管、支撑环、螺纹管、连接管、顶环和滤网；所述外套管和所述输气管固定连接且连通，并位于所述输气管侧边；所述支撑环和所述外套管固定连接，并位于所述外套管内侧；所述螺纹管和所述外套管滑动连接，并位于所述外套管外侧；所述连接管和所述螺纹管螺纹连接，并位于所述螺纹管侧边；所述顶环和所述连接管固定连接，并位于所述连接管侧边；所述滤网设置于所述支撑环和所述顶环之间。

其中，所述半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶还包括支撑件和螺栓；所述支撑件和所述连接管固定连接，并位于所述连接管侧边；所述螺栓和所述支撑件螺纹连接，并贯穿所述支撑件。

其中，所述外套管包括管体和多个限位件；所述管体和所述螺纹管滑动连接，并贯穿所述螺纹管；多个所述限位件分别与所述管体固定连接，并分别位于所述管体侧边。

其中，所述外套管还包括多个螺杆；多个所述螺杆分别与多个所述限位件螺纹连接，并分别位于多个所述限位件侧边。

其中，所述外套管还包括多个旋钮；多个所述旋钮分别与多个所述螺杆固定连接，并分别位于多个所述螺杆侧边。

本实用新型的一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，将所述连接管与半导体加工尾气连接，尾气进入所述连接管内经所述滤网进行过滤，过滤掉尾气中的颗粒杂质，尾气过滤后经所述外套管和所述输气管进入所述反应过滤桶本体内进行再次过滤，而后再将净化后的尾气排出，从而能够对尾气中的颗粒杂质进行过滤。

附图说明