[实用新型]一种晶圆切割机喷水管纠偏装置有效
| 申请号： | 202221630682.0 | 申请日： | 2022-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN217494798U | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 赵建新;唐伟炜;宋志颖;张竞扬;熊进宇;冯磊;王天龙;蒋祖胜;邵鹏;张腾飞;陶永杰;毛文龙 | 申请（专利权）人： | 重庆摩尔精英速芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02;B28D7/00 |
| 代理公司： | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人： | 王娜娜 |
| 地址： | 401122 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种晶圆切割机喷水管纠偏装置，包括机台板、切割刀片、喷水管以及纠偏组件；切割刀片以及喷水管均设置在机台板上；喷水管位于切割刀片的下方；纠偏组件滑动安装在机台板上；纠偏组件包括固定环、多个按压块以及驱动件；固定环滑动安装在机台板上方，且固定环与喷水管相套接；多个按压块呈环状等距滑动安装在固定环内；驱动件设置在固定环的外部，用于牵引多个按压块沿相互靠拢的一侧滑动，使喷水管底壁与机台板上表面相平行。本实用新型通过上述装置的配合使用，当切割刀片完成更换后，可快速将喷水管纠偏至原位置，从而可有效防止因喷水管倾斜而与晶圆触碰，导致晶圆报废的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 喷水 纠偏 装置 | ||
【主权项】：
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