[实用新型]一种晶圆切割机喷水管纠偏装置有效
| 申请号： | 202221630682.0 | 申请日： | 2022-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN217494798U | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 赵建新;唐伟炜;宋志颖;张竞扬;熊进宇;冯磊;王天龙;蒋祖胜;邵鹏;张腾飞;陶永杰;毛文龙 | 申请（专利权）人： | 重庆摩尔精英速芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02;B28D7/00 |
| 代理公司： | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人： | 王娜娜 |
| 地址： | 401122 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 喷水 纠偏 装置 | ||
1.一种晶圆切割机喷水管纠偏装置，其特征在于，包括机台板、切割刀片、喷水管以及纠偏组件；
所述切割刀片以及所述喷水管均设置在所述机台板上；
所述喷水管位于所述切割刀片的下方；
所述纠偏组件滑动安装在所述机台板上；
所述纠偏组件包括固定环、多个按压块以及驱动件；
所述固定环滑动安装在所述机台板上方，且所述固定环与所述喷水管相套接；
多个所述按压块呈环状等距滑动安装在所述固定环内；
所述驱动件设置在所述固定环的外部，用于牵引多个所述按压块沿相互靠拢的一侧滑动，使所述喷水管底壁与所述机台板上表面相平行。
2.如权利要求1所述的晶圆切割机喷水管纠偏装置，其特征在于，所述驱动件包括转动环；
所述转动环转动安装在所述固定环的一侧；
所述按压块的外壁转动安装有转动柱；
所述固定环外壁开设有与所述转动柱相匹配的滑轨；
所述转动柱的一端延伸至所述转动环的内部；
所述转动环上开设有与所述转动柱相匹配的弧形通孔；
当所述转动环转动时，使所述转动柱沿所述弧形通孔内壁滑动，牵引所述按压块滑动。
3.如权利要求2所述的晶圆切割机喷水管纠偏装置，其特征在于，所述驱动件还包括螺纹环；
所述螺纹环固定安装在所述固定环的一侧；
所述转动环螺纹安装在所述螺纹环内部。
4.如权利要求1所述的晶圆切割机喷水管纠偏装置，其特征在于，所述纠偏组件还包括滑动柱；
所述滑动柱的一端与所述固定环的底部固定连接，另一端延伸至所述机台板内部并与所述机台板滑动连接。
5.如权利要求4所述的晶圆切割机喷水管纠偏装置，其特征在于，所述滑动柱的外壁螺纹连接有螺栓；
所述螺栓位于所述机台板的上方；
当所述螺栓旋转至与所述机台板上表面贴合时，所述滑动柱锁紧在所述机台板上。
6.如权利要求5所述的晶圆切割机喷水管纠偏装置，其特征在于，所述机台板内部设置有防止所述滑动柱自转的限位槽。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆摩尔精英速芯半导体有限公司，未经重庆摩尔精英速芯半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202221630682.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种隔音的钢结构吊顶
- 下一篇：一种交酒车
