[实用新型]一种晶圆切割机喷水管纠偏装置

说明书

本实用新型揭示了一种晶圆切割机喷水管纠偏装置，包括机台板、切割刀片、喷水管以及纠偏组件；切割刀片以及喷水管均设置在机台板上；喷水管位于切割刀片的下方；纠偏组件滑动安装在机台板上；纠偏组件包括固定环、多个按压块以及驱动件；固定环滑动安装在机台板上方，且固定环与喷水管相套接；多个按压块呈环状等距滑动安装在固定环内；驱动件设置在固定环的外部，用于牵引多个按压块沿相互靠拢的一侧滑动，使喷水管底壁与机台板上表面相平行。本实用新型通过上述装置的配合使用，当切割刀片完成更换后，可快速将喷水管纠偏至原位置，从而可有效防止因喷水管倾斜而与晶圆触碰，导致晶圆报废的情况发生。

技术领域

本实用新型涉及半导体封装领域，特别是涉及一种晶圆切割机喷水管纠偏装置。

背景技术

在半导体封装过程中，需要先通过切割机的切割刀片对晶圆进行切割，使得晶圆分割成多个小的晶片，然后切割好的晶片通过粘结的方式放置在对应的基板上。

在现有技术中，切割机在对晶圆切割时需配备喷水管进行使用，以防止晶圆切割位置因温度过高而发生损坏。然而在对切割机的切割刀片进行更换时，工作人员易与喷水管相触碰，进而导致喷水管出现倾斜，使得晶圆在被切割时会与喷水管外壁相接触，导致晶圆表面出现划痕，致使晶圆出现报废等情况。

因此，需要一种晶圆切割机喷水管纠偏装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种晶圆切割机喷水管纠偏装置，以使切割刀片更换完成后，可快速将喷水管纠偏至原位置，以避免因喷水管外壁与晶圆触碰而导致晶圆报废的情况发生。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆切割机喷水管纠偏装置，包括机台板、切割刀片、喷水管以及纠偏组件；所述切割刀片以及所述喷水管均设置在所述机台板上；所述喷水管位于所述切割刀片的下方；所述纠偏组件滑动安装在所述机台板上；所述纠偏组件包括固定环、多个按压块以及驱动件；所述固定环滑动安装在所述机台板上方，且所述固定环与所述喷水管相套接；多个所述按压块呈环状等距滑动安装在所述固定环内；所述驱动件设置在所述固定环的外部，用于牵引多个所述按压块沿相互靠拢的一侧滑动，使所述喷水管底壁与所述机台板上表面相平行。

进一步的，所述驱动件包括转动环；所述转动环转动安装在所述固定环的一侧；所述按压块的外壁转动安装有转动柱；所述固定环外壁开设有与所述转动柱相匹配的滑轨；所述转动柱的一端延伸至所述转动环的内部；所述转动环上开设有与所述转动柱相匹配的弧形通孔；当所述转动环转动时，使所述转动柱沿所述弧形通孔内壁滑动，牵引所述按压块滑动。

进一步的，所述驱动件还包括螺纹环；所述螺纹环固定安装在所述固定环的一侧；所述转动环螺纹安装在所述螺纹环内部。

进一步的，所述纠偏组件还包括滑动柱；所述滑动柱的一端与所述固定环的底部固定连接，另一端延伸至所述机台板内部并与所述机台板滑动连接。

进一步的，所述滑动柱的外壁螺纹连接有螺栓；所述螺栓位于所述机台板的上方；当所述螺栓旋转至与所述机台板上表面贴合时，所述滑动柱锁紧在所述机台板上。

进一步的，所述机台板内部设置有防止所述滑动柱自转的限位槽。

相比于现有技术，本实用新型至少具有以下有益效果：

通过设置有固定环、按压块以及驱动件，将因更换切割刀片后的倾斜喷水管插入至固定环所形成的纠偏孔内，启动驱动件，使得多个按压块沿相互靠拢的一侧滑动，从而完成对喷水管的挤压，使得喷水管倾斜外壁复位至原位置，使得喷水管底壁始终与机台板上表面保持平行，以防止喷水管会因倾斜而与晶圆触碰，导致晶圆报废的情况发生。

附图说明

图1为本实用新型晶圆切割机喷水管纠偏装置的整体结构剖视图；

图2为本实用新型图1中A处放大图；