[实用新型]一种硅片移转辅助装置及采用该移转辅助装置的分片机有效
| 申请号： | 202221431083.6 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN217393054U | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 靳立辉;杨骅;任志高;郭浩东;艾传令;王大伟;武治军;岑红霞;危晨 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧新能源技术有限公司;天津环博科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B07C5/36 | 分类号： | B07C5/36;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300450 天津市滨海新区塘沽海洋科*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片移转辅助装置，包括配置在分选轮旁侧的吹管，所述吹管的喷口朝所述分选轮一侧倾斜设置；所述吹管能够朝转移过程中的硅片喷射液体或气体。本实用新型还提出一种采用该移转辅助装置的分片机。本实用新型一种硅片移转辅助装置，结构简单且整体固定方便，可直接朝被吸附的立式硅片侧面进行喷液或吹气，以提高硅片被分选轮吸附的吸力，提高分片效率、保证硅片分选质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 移转 辅助 装置 采用 分片 | ||
【主权项】：
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