[实用新型]一种硅片移转辅助装置及采用该移转辅助装置的分片机有效
| 申请号： | 202221431083.6 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN217393054U | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 靳立辉;杨骅;任志高;郭浩东;艾传令;王大伟;武治军;岑红霞;危晨 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧新能源技术有限公司;天津环博科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B07C5/36 | 分类号： | B07C5/36;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300450 天津市滨海新区塘沽海洋科*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 移转 辅助 装置 采用 分片 | ||
1.一种硅片移转辅助装置，其特征在于，包括配置在分选轮旁侧的吹管，所述吹管的喷口朝所述分选轮一侧倾斜设置；所述吹管能够朝转移过程中的硅片喷射液体或气体。
2.根据权利要求1所述的一种硅片移转辅助装置，其特征在于，所述吹管均被构造在横跨所述分选轮宽度方向设置的架组上，且位于所述架组远离所述分选轮的一侧。
3.根据权利要求2所述的一种硅片移转辅助装置，其特征在于，所述吹管的喷口被构设为朝硅片远离所述分选轮一侧的表面喷射。
4.根据权利要求2或3所述的一种硅片移转辅助装置，其特征在于，所有所述吹管的喷口均同向朝所述硅片表面设置；
所述吹管的数量至少为两个，可沿硅片宽度方向或/和垂直于硅片宽度方向设置。
5.根据权利要求4所述的一种硅片移转辅助装置，其特征在于，同一排最外侧的两个所述吹管的中心宽度不大于硅片宽度的3/4且不小于硅片宽度的1/2。
6.根据权利要求2-3、5任一项所述的一种硅片移转辅助装置，其特征在于，所述架组包括横杆和固设在所述横杆上的侧板；所述横杆与所述侧板可拆卸连接设置。
7.根据权利要求6所述的一种硅片移转辅助装置，其特征在于，所述横杆的两端分别固设在置于所述分选轮外侧的框架上。
8.根据权利要求7所述的一种硅片移转辅助装置，其特征在于，所述侧板竖直设置，且被构造为上窄下宽式的板型结构。
9.根据权利要求7或8所述的一种硅片移转辅助装置，其特征在于，所述吹管被构置在所述侧板远离所述分选轮一侧，并位于所述横杆下方。
10.一种分片机，其特征在于，采用如权利要求1-9任一项所述的移转辅助装置。
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