[实用新型]一种硅片取放装置有效

专利信息
申请号: 202221117375.2 申请日: 2022-05-10
公开(公告)号: CN217588883U 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 周振翔;张永林;周芳超;吴鹏 申请(专利权)人: 横店集团东磁股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687;H01L31/18;C23C16/50;C23C16/54
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 李林
地址: 322118 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型属于晶体硅太阳能电池制造技术领域,具体公开了一种硅片取放装置,该硅片取放装置包括三轴桁架机械手,三轴桁架机械手设置于支架上,三轴桁架机械手包括X向运动机构、Y向运动机构、Z向运动机构和吸取机构,Y向运动机构设置于X向运动机构的移动端上,Z向运动机构设置于Y向运动机构的移动端上,吸取机构设置于Z向运动机构的移动端上,该硅片取放装置通过操作三轴桁架机械手,能够完成取放硅片的工作过程,进而将石墨舟内的异常硅片取出并放置到指定位置,实现了生产的机械化和自动化,取缔人工单调、繁复的体力劳动,降低了工人的劳动强度,节约了人力成本,提高了工作效率。
搜索关键词: 一种 硅片 装置
【主权项】:
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