[实用新型]芯片清洗装置有效
| 申请号： | 202221090064.1 | 申请日： | 2022-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN217474266U | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京智创芯源科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;张高洁 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种芯片清洗装置，涉及光电器件技术领域。该芯片清洗装置包括承载盘、清洗容器以及搅拌组件，承载盘具有由上至下向内倾斜的锥形承载面，承载面划分为多个相互分隔的清洗单元，清洗单元用于放置芯片；清洗容器的内部盛放有清洗溶剂，承载组件放置于清洗容器内，且位于承载组件上的芯片浸没于清洗溶剂中；搅拌组件用于使清洗溶剂转动，以对芯片进行清洗。基于本实用新型的技术方案，由于承载盘的承载面设计为由上至下向内倾斜，使得放置于承载面上的芯片在搅拌组件对清洗容器内的清洗溶剂进行搅拌时，清洗溶剂形成的漩涡不易将芯片从承载盘上掀翻，与芯片清洗装置碰撞，擦伤芯片正面的金属结构。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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