[实用新型]真空镀膜设备的冷却装置及真空镀膜系统有效
| 申请号： | 202221061331.2 | 申请日： | 2022-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN217324254U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 杨恺;林海天;李立升;董得平 | 申请（专利权）人： | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 523835 广东省东莞市大岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空镀膜设备的冷却装置，包括冷却壳体及冷却机构，冷却壳体具有冷却腔室，冷却腔室的两端分别开设有第一进风口、第一出风口；冷却机构包括制冷组件、第一通风管道及第二通风管道，第一通风管道连通第一进风口与制冷组件，且第一通风管道包括用于与柜体内部相连通的连接口；第二通风管道与第一出风口连通，且第二通风管道包括用于与柜体内部相连通的连通口。本实用新型通过设置制冷组件，制冷组件能够提供冷风，且制冷组件能够通过第一通风管道将冷风送至真空镀膜设备内部以及冷却腔室内，冷却腔室内的冷风能够通过第二通风管道进入至真空镀膜设备内部，能够有效的对真空镀膜设备内部进行冷却降温。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 设备 冷却 装置 系统 | ||
【主权项】：
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