[实用新型]真空镀膜设备的冷却装置及真空镀膜系统

说明书

本实用新型涉及一种真空镀膜设备的冷却装置，包括冷却壳体及冷却机构，冷却壳体具有冷却腔室，冷却腔室的两端分别开设有第一进风口、第一出风口；冷却机构包括制冷组件、第一通风管道及第二通风管道，第一通风管道连通第一进风口与制冷组件，且第一通风管道包括用于与柜体内部相连通的连接口；第二通风管道与第一出风口连通，且第二通风管道包括用于与柜体内部相连通的连通口。本实用新型通过设置制冷组件，制冷组件能够提供冷风，且制冷组件能够通过第一通风管道将冷风送至真空镀膜设备内部以及冷却腔室内，冷却腔室内的冷风能够通过第二通风管道进入至真空镀膜设备内部，能够有效的对真空镀膜设备内部进行冷却降温。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，特别是涉及一种真空镀膜设备的冷却装置及真空镀膜系统。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，真空镀膜设备包括真空电阻加热蒸发、电子枪加热蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积、离子束溅射等很多种，主要是分成蒸发和溅射两种。

真空镀膜设备在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作。现有的真空镀膜设备散热较多采用自然冷却，效果较差，导致工作效率低，冷却不及时，很容易导致真空镀膜设备因为温度过高而损坏，影响真空镀膜机的使用寿命。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种能够有效的对真空镀膜设备内部进行冷却降温，且能保证冷却效果，增长真空镀膜设备的使用寿命的真空镀膜设备的冷却装置及真空镀膜系统。

一种真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，包括：

冷却壳体，所述冷却壳体具有冷却腔室，且所述冷却腔室围成一容纳空间以用于容纳真空镀膜设备的柜门；所述冷却腔室的两端分别开设有第一进风口、第一出风口，所述第一进风口及所述第一出风口均与所述冷却腔室相连通；

冷却机构，所述冷却机构包括用于连接于所述真空镀膜设备的柜体上的制冷组件、第一通风管道及第二通风管道，所述第一通风管道连通所述第一进风口与所述制冷组件，且所述第一通风管道包括用于与所述柜体内部相连通的连接口；所述第二通风管道与所述第一出风口连通，且所述第二通风管道包括用于与所述柜体内部相连通的连通口。

在其中一个实施例中，所述第一通风管道包括第二进风口、第二出风口及第三出风口，所述第二进风口与所述制冷组件相连通，所述第二出风口与所述第一进风口相连通，所述第三出风口用于与所述柜体内部相连通。。

在其中一个实施例中，所述第二通风管道包括第三进风口及第四出风口，所述第三进风口与所述第一出风口相连通，所述第四出风口用于与所述柜体内部相连通。

本申请还提供了一种真空镀膜系统，包括：如上述的真空镀膜设备及如上述的冷却装置，所述真空镀膜设备包括所述柜体及所述柜门；

所述冷却装置的所述冷却腔室围绕所述真空镀膜设备的所述柜门。

在其中一个实施例中，所述冷却壳体铰接设置于所述柜体或所述制冷组件上。

在其中一个实施例中，所述冷却壳体可拆卸连接于所述柜体或所述制冷组件上。

在其中一个实施例中，所述制冷组件、所述第一通风管道及所述第二通风管道可拆卸连接于所述柜体上。

在其中一个实施例中，所述冷却腔室的所述第一进风口与所述第一通风管道及所述冷却腔室的所述第一出风口与所述第二通风管道之间均设置有密封件。

在其中一个实施例中，所述真空镀膜设备的所述柜门的数量与所述冷却壳体的数量相对应。

在其中一个实施例中，所述真空镀膜设备的所述柜门包括有两个，两所述柜门相背对设置；所述冷却壳体包括有两个，两所述冷却壳体对称设置，且两所述冷却壳体分别与两所述柜门一一对应设置。