[实用新型]真空镀膜设备的冷却装置及真空镀膜系统

权利要求书

1.一种真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，包括：

冷却壳体，所述冷却壳体具有冷却腔室，且所述冷却腔室围成一容纳空间以用于容纳真空镀膜设备的柜门；所述冷却腔室的两端分别开设有第一进风口、第一出风口，所述第一进风口及所述第一出风口均与所述冷却腔室相连通；

冷却机构，所述冷却机构包括用于连接于所述真空镀膜设备的柜体上的制冷组件、第一通风管道及第二通风管道，所述第一通风管道连通所述第一进风口与所述制冷组件，且所述第一通风管道包括用于与所述柜体内部相连通的连接口；所述第二通风管道与所述第一出风口连通，且所述第二通风管道包括用于与所述柜体内部相连通的连通口。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，所述第一通风管道包括第二进风口、第二出风口及第三出风口，所述第二进风口与所述制冷组件相连通，所述第二出风口与所述第一进风口相连通，所述第三出风口用于与所述柜体内部相连通。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的冷却装置，其特征在于，所述第二通风管道包括第三进风口及第四出风口，所述第三进风口与所述第一出风口相连通，所述第四出风口用于与所述柜体内部相连通。

4.一种真空镀膜系统，其特征在于，包括：如权利要求1所述的真空镀膜设备及如权利要求1-3任一所述的冷却装置，所述真空镀膜设备包括所述柜体及所述柜门；

所述冷却装置的所述冷却腔室围绕所述真空镀膜设备的所述柜门。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述冷却壳体铰接设置于所述柜体或所述制冷组件上。

6.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述冷却壳体可拆卸连接于所述柜体或所述制冷组件上。

7.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述制冷组件、所述第一通风管道及所述第二通风管道可拆卸连接于所述柜体上。

8.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述冷却腔室的所述第一进风口与所述第一通风管道及所述冷却腔室的所述第一出风口与所述第二通风管道之间均设置有密封件。

9.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述真空镀膜设备的所述柜门的数量与所述冷却壳体的数量相对应。

10.根据权利要求4所述的真空镀膜系统，其特征在于，所述真空镀膜设备的所述柜门包括有两个，两所述柜门相背对设置；所述冷却壳体包括有两个，两所述冷却壳体对称设置，且两所述冷却壳体分别与两所述柜门一一对应设置。