[实用新型]一种可引流排水的半导体老化设备漏水检测装置有效

专利信息
申请号: 202220933978.3 申请日: 2022-04-21
公开(公告)号: CN217560876U 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 朱兵;钱荣华 申请(专利权)人: 苏州埃缇益自动化科技有限公司
主分类号: G01M3/04 分类号: G01M3/04
代理公司: 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 代理人: 安琳
地址: 215000 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种可引流排水的半导体老化设备漏水检测装置,包括固定机构和安装机构,所述固定机构的内侧中部安装有用于位置调节的移动机构,用于安装的所述安装机构设置于固定机构的内部上方,且固定机构的上表面前端开设有用于排水的流通机构。该可引流排水的半导体老化设备漏水检测装置,与现有的装置相比,通过流通槽和漏水口,可以将检测后的残留水体进行流通,通过导水管,可以将残留的水体进行清除,避免干扰下一半导体的质量和漏水检测精度,通过插接管和卡合环,可以方便将导水管与漏水口之间进行拆装,从而在长期使用后方便进行更换,通过卡合环,其为橡胶材质,可以在卡合紧固的同时,来提高安装的密封性,避免发生泄漏。
搜索关键词: 一种 引流 排水 半导体 老化 设备 漏水 检测 装置
【主权项】:
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