[实用新型]半导体清洗机有效
| 申请号： | 202220880681.5 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN218049245U | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 夏红兵 | 申请（专利权）人： | 尚雅派斯科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/14;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳博敖专利代理事务所(普通合伙) 44884 | 代理人： | 杨洋 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体清洗技术领域，特别是涉及半导体清洗机，包括清洗台和回型网架，回型网架设于清洗台上方，清洗台内下端开有清洁室，清洗台上端右侧固定有水泵，水泵左端连通有穿插进清洁室内的抽液管，水泵上端连通有导液管，导液管左侧设有位于回型网架上方的清洗组件，回型网架内侧设有装夹组件，回型网架左侧设有旋转组件；通过将半导体上下端装夹在上凹槽网板及下凹槽网板之间，然后通过回型网架带动半导体旋转，同时通过清洁喷头往半导体上喷洒清洁剂，且使清洁喷头左右来回并对旋转的半导体进行冲洗，减少了对半导体清洗时的盲区，提升了对半导体的清洗全面性，保证了对半导体的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 清洗 | ||
【主权项】：
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