[实用新型]一种多功能的可隔离防护晶圆的晶圆处理装置

摘要

本实用新型提供一种多功能的可隔离防护晶圆的晶圆处理装置，包括处理箱，控制面板，吸尘管，连接软管，卡箍，进尘管，灰尘存储箱，吸尘风机，空气过滤网，快拆螺栓，清尘箱门，可过滤吹尘空心盘结构，可隔离存放盒结构和可任停防误操作遮挡罩结构，所述的处理箱右部上侧螺栓连接有控制面板；所述的处理箱左部上侧开口处螺纹连接有吸尘管；所述的吸尘管外壁套接有连接软管，并通过卡箍紧固连接设置；所述的连接软管左端套接在进尘管的外壁，并通过卡箍紧固连接设置。本实用新型进风管，过滤盒，过滤块，进风口，吹尘风机，吹尘空心盘和吹尘口的设置，有利于实现免接触清理灰尘的功能。