[实用新型]一种多功能的可隔离防护晶圆的晶圆处理装置

权利要求书

1.一种多功能的可隔离防护晶圆的晶圆处理装置，其特征在于，该多功能的可隔离防护晶圆的晶圆处理装置包括处理箱(1)，控制面板(2)，吸尘管(3)，连接软管(4)，卡箍(5)，进尘管(6)，灰尘存储箱(7)，吸尘风机(8)，空气过滤网(9)，快拆螺栓(10)，清尘箱门(11)，可过滤吹尘空心盘结构(12)，可隔离存放盒结构(13)和可任停防误操作遮挡罩结构(14)，所述的处理箱(1)右部上侧螺栓连接有控制面板(2)；所述的处理箱(1)左部上侧开口处螺纹连接有吸尘管(3)；所述的吸尘管(3)外壁套接有连接软管(4)，并通过卡箍(5)紧固连接设置；所述的连接软管(4)左端套接在进尘管(6)的外壁，并通过卡箍(5)紧固连接设置；所述的进尘管(6)左端螺纹连接在灰尘存储箱(7)右部上侧开口处；所述的灰尘存储箱(7)左部中间部位开口处螺栓连接有吸尘风机(8)；所述的灰尘存储箱(7)内侧左部中间部位开口处螺栓连接有空气过滤网(9)；所述的灰尘存储箱(7)前部中下侧开口处通过快拆螺栓(10)紧固连接有清尘箱门(11)；所述的处理箱(1)内部右下侧开设有进入口；所述的可过滤吹尘空心盘结构(12)与处理箱(1)相连接；所述的可隔离存放盒结构(13)与设置在处理箱(1)内侧底部；所述的可任停防误操作遮挡罩结构(14)与处理箱(1)相连接；所述的可过滤吹尘空心盘结构(12)包括进风管(121)，过滤盒(122)，过滤块(123)，进风口(124)，吹尘风机(125)，吹尘空心盘(126)和吹尘口(127)，所述的进风管(121)上端螺纹连接在过滤盒(122)下部中间部位开口处；所述的过滤盒(122)内部设置有过滤块(123)；所述的过滤盒(122)内部中上侧从左到右依次开设有进风口(124)；所述的进风管(121)内部上侧螺栓连接有吹尘风机(125)；所述的进风管(121)下端与吹尘空心盘(126)上部中间部位开口处螺纹连接设置；所述的吹尘空心盘(126)内部下侧四周部位分别开设有吹尘口(127)。

2.如权利要求1所述的多功能的可隔离防护晶圆的晶圆处理装置，其特征在于，所述的可隔离存放盒结构(13)包括存放盒体(131)，倒U型导向框(132)，隔离盖板(133)，操作手柄(134)，磁铁块(135)，限位块(136)和晶圆本体(137)，所述的存放盒体(131)上部右侧螺栓连接有倒U型导向框(132)，且倒U型导向框(132)内侧滑动设置有隔离盖板(133)，其中隔离盖板(133)下部与存放盒体(131)上部滑动接触设置；所述的隔离盖板(133)右部中间部位螺钉连接有操作手柄(134)；所述的隔离盖板(133)内部中左侧开设有安装凹槽，且安装凹槽内部镶嵌有磁铁块(135)；所述的存放盒体(131)上部左侧螺栓连接有限位块(136)，且限位块(136)内部右下侧开设有插槽；所述的存放盒体(131)内部左上侧开设有置物凹槽，且置物凹槽位于限位块(136)右侧；所述的置物凹槽内侧底部设置有晶圆本体(137)。

3.如权利要求1所述的多功能的可隔离防护晶圆的晶圆处理装置，其特征在于，所述的可任停防误操作遮挡罩结构(14)包括U型安装座(141)，螺纹杆(142)，耳板(143)，阻尼翼形螺母(144)和防误操遮挡罩(145)，所述的U型安装座(141)左部与处理箱(1)右部上侧螺栓连接设置，且U型安装座(141)位于控制面板(2)的上侧；所述的U型安装座(141)内部中右侧前后两侧均开设有安装通孔，且安装通孔内侧均插接有螺纹杆(142)；所述的U型安装座(141)内侧设置有耳板(143)，且耳板(143)前后两部中上侧开口处分别与螺纹杆(142)内端螺纹连接设置；所述的螺纹杆(142)外壁均螺纹连接有阻尼翼形螺母(144)，且阻尼翼形螺母(144)分别位于U型安装座(141)的前后两部；所述的耳板(143)下部与防误操遮挡罩(145)上部中间部位偏右侧螺钉连接设置；所述的防误操遮挡罩(145)罩接在控制面板(2)的外侧。

4.如权利要求1所述的多功能的可隔离防护晶圆的晶圆处理装置，其特征在于，所述的处理箱(1)内部中上侧开设有安装孔，且处理箱(1)通过安装孔与进风管(121)的外壁上侧中间部位一体化连接设置。