[实用新型]一种基于半导体涂胶机的喷头清洁装置有效
申请号: | 202220772004.1 | 申请日: | 2022-04-06 |
公开(公告)号: | CN217699883U | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 夏友龙;丁建峰;张洋洋;王刚;潘晓忠;姚志炎 | 申请(专利权)人: | 徐州美兴光电科技有限公司 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/10;B05B15/55 |
代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 张入文 |
地址: | 221122 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请涉及涂胶机技术领域,具体为一种基于半导体涂胶机的喷头清洁装置,包括清洁器,所述清洁器的表面开设有清洗槽,所述清洁器的侧壁连通有进液管,所述清洁器靠近进液管的一侧连通有氮气管,所述清洁器内安装有液位传感器,所述清洁器的下表面连通有排废管,所述清洁器上清洗槽的内壁设有过滤结构,所述过滤结构包括滤网,所述滤网与清洁器上清洗槽的内壁滑动连接,所述滤网的上表面固定连接有两个连接杆,所述连接杆远离滤网的一端固定连接有拉板,所述清洁器相对于两个拉板的位置均固定连接有固定杆。本申请,解决了由于溶剂内容易含有未被完全融化的胶体杂质,这些胶体杂质会将PR喷头堵塞的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 半导体 涂胶 喷头 清洁 装置 | ||
【主权项】:
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