[实用新型]一种基于半导体涂胶机的喷头清洁装置有效
申请号: | 202220772004.1 | 申请日: | 2022-04-06 |
公开(公告)号: | CN217699883U | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 夏友龙;丁建峰;张洋洋;王刚;潘晓忠;姚志炎 | 申请(专利权)人: | 徐州美兴光电科技有限公司 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/10;B05B15/55 |
代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 张入文 |
地址: | 221122 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 半导体 涂胶 喷头 清洁 装置 | ||
1.一种基于半导体涂胶机的喷头清洁装置,包括清洁器(1),其特征在于:所述清洁器(1)的表面开设有清洗槽(2),所述清洁器(1)的侧壁连通有进液管(4),所述清洁器(1)靠近进液管(4)的一侧连通有氮气管(5),所述清洁器(1)内安装有液位传感器(3),所述清洁器(1)的下表面连通有排废管(6),所述清洁器(1)上清洗槽(2)的内壁设有过滤结构(7),所述过滤结构(7)包括滤网(71),所述滤网(71)与清洁器(1)上清洗槽(2)的内壁滑动连接,所述滤网(71)的上表面固定连接有两个连接杆(72),所述连接杆(72)远离滤网(71)的一端固定连接有拉板(73),所述清洁器(1)相对于两个拉板(73)的位置均固定连接有固定杆(74),所述固定杆(74)的表面滑动套有滑板(75),所述滑板(75)的上表面固定连接有套管(76),所述套管(76)的尺寸与拉板(73)的尺寸相适配。
2.根据权利要求1所述的一种基于半导体涂胶机的喷头清洁装置,其特征在于:所述固定杆(74)的表面套有弹簧(77),所述弹簧(77)的两端分别与滑板(75)和固定杆(74)固定连接,所述滑板(75)位于弹簧(77)和清洁器(1)之间。
3.根据权利要求1所述的一种基于半导体涂胶机的喷头清洁装置,其特征在于:所述滑板(75)远离清洁器(1)的一侧固定连接有圆柱块,圆柱块远离滑板(75)的一端转动连接有转板(78)。
4.根据权利要求1所述的一种基于半导体涂胶机的喷头清洁装置,其特征在于:所述滤网(71)靠近连接杆(72)的一侧固定连接有挡环(79),所述挡环(79)的横截面呈椭圆形。
5.根据权利要求1所述的一种基于半导体涂胶机的喷头清洁装置,其特征在于:所述清洁器(1)的下表面设有限位结构(8),所述限位结构(8)包括四个固定管(81),所述固定管(81)固定连接在清洁器(1)的下表面,所述固定管(81)的内壁滑动连接有支撑杆(82),所述支撑杆(82)远离清洁器(1)的一端固定连接有吸盘(83)。
6.根据权利要求5所述的一种基于半导体涂胶机的喷头清洁装置,其特征在于:四个所述支撑杆(82)两两一组,两个所述支撑杆(82)的圆弧面均固定连接有矩形板(84),两个所述矩形板(84)彼此远离的一侧均固定连接有限位板(85),所述限位板(85)的竖直截面呈“L”形,所述限位板(85)长臂的表面螺纹插设有螺杆(86),所述清洁器(1)相对于螺杆(86)的位置固定连接有定位板(87)。
7.根据权利要求6所述的一种基于半导体涂胶机的喷头清洁装置,其特征在于:所述螺杆(86)靠近定位板(87)的一端固定连接有辅助板(88),所述辅助板(88)的竖直截面呈圆形。
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