[实用新型]加料组件及具有其的单晶生长装置有效
| 申请号： | 202220767424.0 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN217104139U | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 徐章伟 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种加料组件及具有其的单晶生长装置，加料组件适于向单晶生长装置的坩埚内补充原料，加料组件包括：内筒、外筒、第一开关机构和第二开关机构，内筒内形成第一通道，内筒朝向坩埚的一端形成与第一通道连通的第一开口，第一通道内的原料适于通过第一开口落入坩埚，外筒套设在内筒的外周侧，内筒与外筒之间限定出第二通道以及朝向坩埚且与第二通道连通的第二开口，第二通道内的原料适于通过第二开口落入坩埚，第一开关机构适于打开或关闭第一开口，第二开关机构适于打开或关闭第二开口。根据本实用新型的加料组件，可以较好地控制单次投放至坩埚内的原料量，从而可以较好地减小加料过程中造成的熔汤飞溅以及熔汤液面波动。 | ||
| 搜索关键词： | 加料 组件 具有 生长 装置 | ||
【主权项】：
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