[实用新型]加料组件及具有其的单晶生长装置

权利要求书

1.一种用于单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述加料组件适于向所述单晶生长装置的坩埚内补充原料，所述加料组件包括：

内筒，所述内筒内形成第一通道，所述内筒朝向所述坩埚的一端形成与所述第一通道连通的第一开口，所述第一通道内的所述原料适于通过所述第一开口落入所述坩埚；

外筒，所述外筒套设在所述内筒的外周侧，所述内筒与所述外筒之间限定出第二通道以及朝向所述坩埚且与所述第二通道连通的第二开口，所述第二通道内的原料适于通过所述第二开口落入所述坩埚；

第一开关机构，所述第一开关机构适于打开或关闭所述第一开口；

第二开关机构，所述第二开关机构适于打开或关闭所述第二开口。

2.根据权利要求1所述的用于单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述第一开关机构包括：

第一盖体，所述第一盖体可活动地设于所述内筒临近所述第一开口的一侧；

第一驱动件，所述第一驱动件适于驱动所述第一盖体远离或靠近所述内筒以打开或关闭所述第一开口。

3.根据权利要求2所述的用于单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述第一盖体包括：

主体部，所述主体部上形成沿周向间隔排布的多个嵌入凹槽；

嵌入部，所述嵌入部与所述嵌入凹槽的数量相同且一一对应，所述嵌入部在伸出位置和缩回位置之间可活动地设于所述嵌入凹槽内，在所述伸出位置，在所述内筒的周向方向上，相邻的两个所述嵌入部的部分重叠。

4.根据权利要求3所述的用于单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述嵌入凹槽包括：第一嵌入凹槽和第二嵌入凹槽，所述第一嵌入凹槽和所述第二嵌入凹槽在所述主体部的轴向方向上分层设置，

所述嵌入部包括：第一嵌入部和第二嵌入部，所述第一嵌入部在伸出位置和缩回位置之间可活动地设于所述第一嵌入凹槽内，所述第二嵌入部在伸出位置和缩回位置之间可活动地设于所述第二嵌入凹槽内，

其中，所述第一嵌入凹槽沿所述主体部的周向方向布置有多个，所述第二嵌入凹槽沿所述主体部的周向方向布置有多个，且在所述主体部的周向方向上，多个所述第二嵌入凹槽与多个所述第一嵌入凹槽交错排布，所述第一嵌入部设有多个，多个所述第一嵌入部与多个所述第一嵌入凹槽一一对应设置，所述第二嵌入部设有多个，多个所述第二嵌入部与多个所述第二嵌入凹槽一一对应设置，

且在所述第一嵌入部和所述第二嵌入部均处于所述伸出位置时，在所述内筒的周向方向上，相邻的所述第一嵌入部和所述第二嵌入部部分重叠。

5.根据权利要求2所述的用于单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述第二开关机构包括：

第二盖体，所述第二盖体设于所述外筒临近所述第二开口的一侧；

第二驱动件，所述第二驱动件适于驱动所述第二盖体和所述外筒中的一个相对于另一个运动以打开或关闭所述第二开口。

6.根据权利要求5所述的用于单晶生长装置的加料组件，其特征在于，在朝向所述内筒径向外侧的方向上，所述第一盖体和所述第二盖体均朝下倾斜延伸。

7.根据权利要求6所述的用于单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述第一盖体相对于水平面的倾斜角度与所述第二盖体相对于水平面的倾斜角度相同。

8.根据权利要求6所述的用于单晶生长装置的加料组件，其特征在于，在所述内筒的径向方向上，所述第一盖体的外周边缘与所述第二盖体的外周边缘平齐。

9.根据权利要求8所述的用于单晶生长装置的加料组件，其特征在于，所述第一盖体相对于水平面的倾斜角度小于第二盖体相对于水平面的倾斜角度。