[实用新型]一种半导体单晶硅片生产用酸洗装置有效
| 申请号： | 202220548947.6 | 申请日： | 2022-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN217251113U | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 徐晶骥;董国斌;叶俊 | 申请（专利权）人： | 上海东煦电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B3/04;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于半导体单晶硅片生产领域，提供了一种半导体单晶硅片生产用酸洗装置，包括箱体和箱盖，所述箱盖铰接在箱体上，所述箱盖背离箱体的一侧固定连接有把手，还包括：所述箱体的内部端面开设有两个安装槽，所述安装槽的内部设置有第二电动推杆，两个所述第二电动推杆的伸缩端之间设置有放置组件，所述放置组件用来盛放单晶硅片。本实用新型通过控制第二电动推杆的伸缩端缩短，带动放置组件下降，使放置组件浸入浸酸池中，洗掉单晶硅片表面的杂质，再将放置组件升起，通过喷头喷出高压水对单晶硅片的表面进行冲洗，冲掉单晶硅片上残留的浸酸溶液，避免腐蚀单晶硅片，使清洗效果更好；通过烘干组件能够对单晶硅片进行烘干。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 单晶硅 生产 酸洗 装置 | ||
【主权项】：
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