[实用新型]一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构有效
| 申请号： | 202220525283.1 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN216891320U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 章磊;李有群;贺贤汉;董志勇;吴寒;顾雪龙 | 申请（专利权）人： | 安徽微芯长江半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构，包括箱体，所述箱体的顶端铰接有盖体，且箱体的一侧外壁设置有散热窗口，并且箱体的另一侧外壁安装有风扇，所述箱体的内壁固定设置有六组固定板，两个所述固定板的内侧设置有用以夹持的夹持组件，且两个所述固定板的内侧设置有限位组件，所述限位组件用以对所述夹持组件定位，所述箱体的内部设置有与其滑动配合的支撑板，该一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构，通过多组第一夹板与第二夹板在固定架内活动，方便对不同直径的坩埚进行夹持隔开，且通过双向丝杆带动压板压紧进行第一夹板和第二夹板的挤压，从而将多个坩埚竖直隔开放置，提高散热效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 晶体生长 风冷 结构 | ||
【主权项】：
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