[实用新型]一种用于制备碳化硅晶体的加热装置有效
| 申请号： | 202220524946.8 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN217026148U | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 贺贤汉;张城;陈有生;赖章田 | 申请（专利权）人： | 上海申和投资有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于制备碳化硅晶体的加热装置，包括加热炉本体，所述加热炉本体的中心处设置有加热腔室，所述加热腔室的内部放置有坩埚，所述坩埚的外表面固定设置有卡座，所述加热炉本体的外壁安装有气缸，且气缸的伸缩端固定连接有顶板，所述的顶板的内部设置有夹持组件，用以对所述坩埚夹持，所述顶板的底端设置有封盖组件，用以对坩埚的顶部覆盖，所述加热炉本体的顶端对称设置有两组风扇，该一种用于制备碳化硅晶体的加热装置，在将加热后的坩埚取出时，可通过夹持组件将不同尺寸的坩埚夹持，且通过气缸的带动下向上升起，而坩埚冷却后可推动坩埚转动将碳化硅晶体倒出，从而使得碳化硅晶体的收集过程中较容易。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 碳化硅 晶体 加热 装置 | ||
【主权项】：
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