[实用新型]一种用于刻蚀机的延时侦测预警系统及湿法刻蚀机有效
| 申请号： | 202220517952.0 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN217008389U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 杨春辉;陈露 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G08B21/18 | 分类号： | G08B21/18;G08B3/10;G01B11/00;H01L21/67;G02B5/08 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 刘小峰;张元 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于刻蚀机的延时侦测预警系统，包含光传感器和延时报警装置。光传感器设置于刻蚀机内的机械手臂部，光传感器包含发射端和接收端；延时报警装置与光传感器通信连接，其包含用于设定工作时间阈值的计时模块和报警模块，并配置为响应于光传感器感测到机械手臂在工作区域内的实际工作时间大于工作时间阈值而发出报警信号。通过本实用新型实现了智能侦测及报警，有效防止湿法刻蚀机的机械手臂在工作的过程中出现酸槽超秒的情况，消除了因酸槽超秒而对产品的损伤，降低了晶圆片的报废率，降低了人力成本。本实用新型同时提供了一种包含该延时侦测预警系统的湿法刻蚀机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 刻蚀 延时 侦测 预警系统 湿法 | ||
【主权项】：
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