[实用新型]一种用于刻蚀机的延时侦测预警系统及湿法刻蚀机

权利要求书

1.一种用于刻蚀机的延时侦测预警系统，其特征在于，所述系统包括：

光传感器，所述光传感器设置于所述刻蚀机内的机械手臂上，所述光传感器包含发射端和接收端；

延时报警装置，所述延时报警装置与所述光传感器通信连接，所述延时报警装置包含用于设定工作时间阈值的计时模块和报警模块，并配置为响应于所述光传感器感测到所述机械手臂在工作区域内的实际工作时间大于所述工作时间阈值而发出报警信号。

2.根据权利要求1所述的用于刻蚀机的延时侦测预警系统，其特征在于，所述延时侦测预警系统进一步包括漫反射板，所述漫反射板设置于所述刻蚀机内，所述漫反射板设置为将所述发射端发出的光线反射至所述接收端。

3.根据权利要求1所述的用于刻蚀机的延时侦测预警系统，其特征在于，所述光传感器为反射式光传感器。

4.根据权利要求1所述的用于刻蚀机的延时侦测预警系统，其特征在于，所述光传感器进一步包含信号处理电路，所述信号处理电路将所述接收端接收的光信号转变为电信号并发送至所述延时报警装置。

5.根据权利要求1所述的用于刻蚀机的延时侦测预警系统，其特征在于，所述发射端设置有红外发射管，所述红外发射管发射的光线的波长在830-950nm范围之间。

6.根据权利要求2所述的用于刻蚀机的延时侦测预警系统，其特征在于，所述漫反射板对250-1500nm波段内的光线的反射率大于98％。

7.根据权利要求1所述的用于刻蚀机的延时侦测预警系统，其特征在于，所述报警模块为蜂鸣器。

8.一种湿法刻蚀机，其特征在于，所述湿法刻蚀机具有如权利要求2-7中任一项所述的延时侦测预警系统。