[实用新型]一种稳定型石英盖驱动装置有效
| 申请号： | 202220468216.0 | 申请日： | 2022-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN217009137U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·罗伯特·休斯特;李文书 | 申请（专利权）人： | 硅密（常州）电子设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京鑫知翼知识产权代理事务所(普通合伙) 11984 | 代理人： | 孙长江 |
| 地址： | 213004 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种稳定型石英盖驱动装置，涉及石英盖子驱动技术领域，为解决现有的石英盖子驱动装置通过气体驱动会造成石英盖子损坏并且无法控制开启和关闭速度的问题。所述装置外壳的内部横向均匀分布有若干个第一传输管道，若干个所述第一传输管道的一侧均设置有第二传输管道，所述第二传输管道的一端与第一传输管道的一端之间通过第一三通管密封连接，所述第二传输管道的下端设置有第一电磁阀，所述第一电磁阀的下端设置有第一密封头，所述第一密封头的下端设置有第二三通管，所述第二三通管与第一密封头之间设置有第一手动调节针阀，所述第一传输管道下端的一侧设置有第二密封头，所述第二密封头的下端设置有第二手动调节针阀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 石英 驱动 装置 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
