[实用新型]一种稳定型石英盖驱动装置有效
| 申请号： | 202220468216.0 | 申请日： | 2022-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN217009137U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·罗伯特·休斯特;李文书 | 申请（专利权）人： | 硅密（常州）电子设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京鑫知翼知识产权代理事务所(普通合伙) 11984 | 代理人： | 孙长江 |
| 地址： | 213004 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 石英 驱动 装置 | ||
1.一种稳定型石英盖驱动装置，包括装置外壳(1)，其特征在于：所述装置外壳(1)的内部横向均匀分布有若干个第一传输管道(4)，若干个所述第一传输管道(4)的一侧均设置有第二传输管道(5)，所述第二传输管道(5)的一端与第一传输管道(4)的一端之间通过第一三通管(3)密封连接，所述第二传输管道(5)的下端设置有第一电磁阀(6)，且第一电磁阀(6)与第一传输管道(4)的另一端和第二传输管道(5)的另一端密封连接，所述第一电磁阀(6)的下端设置有第一密封头(8)，所述第一密封头(8)的下端设置有第二三通管(11)。
2.根据权利要求1所述的一种稳定型石英盖驱动装置，其特征在于：所述第二三通管(11)与第一密封头(8)之间设置有第一手动调节针阀(10)，且第一手动调节针阀(10)的两端均与第一密封头(8)和第二三通管(11)密封连接。
3.根据权利要求1所述的一种稳定型石英盖驱动装置，其特征在于：所述第一传输管道(4)下端的一侧设置有第二密封头(9)，所述第二密封头(9)的下端设置有第二手动调节针阀(12)，所述第二密封头(9)的上端设置有第二电磁阀(7)。
4.根据权利要求1所述的一种稳定型石英盖驱动装置，其特征在于：所述第二三通管(11)的下端设置有水驱动缸(14)，所述水驱动缸(14)的内部设置有空腔(15)，所述空腔(15)的内部设置有固定板(16)，且固定板(16)与水驱动缸(14)滑动连接，所述第二三通管(11)与空腔(15)密封连接。
5.根据权利要求4所述的一种稳定型石英盖驱动装置，其特征在于：所述固定板(16)的一侧设置有石英盖子(17)，所述石英盖子(17)的下端设置有高温槽(18)。
6.根据权利要求1所述的一种稳定型石英盖驱动装置，其特征在于：所述第一三通管(3)的上端设置有注水管(13)，且注水管(13)的一端与第一三通管(3)密封连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于硅密（常州）电子设备有限公司，未经硅密（常州）电子设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202220468216.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：嵌入式天花板灯具及其感应器堵头
- 下一篇：一种方便更换摩擦片的鼓式制动蹄结构
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
