[实用新型]PVD载具及异质结太阳能电池生产系统有效
| 申请号： | 202220316192.7 | 申请日： | 2022-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN217230916U | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 薛建锋;余义 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 别亮亮 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种PVD载具及异质结太阳能电池生产系统，将硅片对应镂空槽放置在承压件的承压面上后，通过两个第一夹持件与承压面的可移动配合，调整两个第一夹持件之间的间距，从而利用第一夹持结构对硅片相对的两个侧壁进行夹持固定，进而能够避免在转运过程中硅片相对承压件发生移动，不会影响后续的镀膜工艺，也不会对硅片造成磨损，保证产品良率。同时，由于第一夹持结构仅对硅片的侧壁进行夹持，不会与硅片的表面发生接触，保证表面镀膜的均匀性，光电转化效率高。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 异质结 太阳能电池 生产 系统 | ||
【主权项】：
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