[实用新型]PVD载具及异质结太阳能电池生产系统

说明书

本实用新型涉及一种PVD载具及异质结太阳能电池生产系统，将硅片对应镂空槽放置在承压件的承压面上后，通过两个第一夹持件与承压面的可移动配合，调整两个第一夹持件之间的间距，从而利用第一夹持结构对硅片相对的两个侧壁进行夹持固定，进而能够避免在转运过程中硅片相对承压件发生移动，不会影响后续的镀膜工艺，也不会对硅片造成磨损，保证产品良率。同时，由于第一夹持结构仅对硅片的侧壁进行夹持，不会与硅片的表面发生接触，保证表面镀膜的均匀性，光电转化效率高。

技术领域

本实用新型涉及光伏技术领域，特别是涉及一种PVD载具及异质结太阳能电池生产系统。

背景技术

PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)可以应用于异质结太阳能电池的电极制备，在制备过程中，需要使用到PVD载具以对硅片进行固定。传统的方式为采用压框将硅片压设在载板上，但是该种方式易出现硅片位置不稳定的问题，影响镀膜质量。

实用新型内容

基于此，有必要针对影响镀膜质量的问题，提供一种PVD载具及异质结太阳能电池生产系统。

其技术方案如下：

一方面，提供了一种PVD载具，包括：

承压件，所述承压件设有用于供硅片放置的承压面，所述承压面上设有镂空槽，所述镂空槽的轮廓面积小于所述硅片的表面积；及

夹持组件，所述夹持组件包括两个相对间隔设置的第一夹持件，两个所述第一夹持件均与所述承压面可移动配合，且两个所述第一夹持件分别位于所述镂空槽的两侧并配合形成用于夹持硅片的第一夹持结构。

下面进一步对技术方案进行说明：

在其中一个实施例中，两个所述第一夹持件沿第一方向间隔设置，所述夹持组件还包括两个沿第二方向相对间隔设置的第二夹持件，两个所述第二夹持件均与所述承压面可移动配合，且两个所述第二夹持件分别位于所述镂空槽的两侧并配合形成用于夹持硅片的第二夹持结构，其中，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

在其中一个实施例中，所述承压面上设有沿所述第一方向延伸的第一导向部，两个所述第一夹持件均设有第二导向部，所述第二导向部与所述第一导向部导向配合。

在其中一个实施例中，所述第一导向部设有沿第一方向延伸的第一导向槽，所述第二导向部包括与所述第一夹持件转动连接的第一转动轮，所述第一转动轮可转动设置于所述第一导向槽内。

在其中一个实施例中，所述第一转动轮与所述第一导向槽的侧壁摩擦配合，所述夹持组件还包括第一驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述第一转动轮转动。

在其中一个实施例中，所述承压面上设有沿所述第二方向延伸的第三导向部，两个所述第二夹持件均设有第四导向部，所述第四导向部与所述第三导向部导向配合。

在其中一个实施例中，所述第三导向部设有沿第二方向延伸的第二导向槽，所述第四导向部包括与所述第二夹持件转动连接的第二转动轮，所述第二转动轮可转动设置于所述第二导向槽内。

在其中一个实施例中，所述第二转动轮与所述第二导向槽的侧壁摩擦配合，所述夹持组件还包括第二驱动件，所述第二驱动件用于驱动所述第二转动轮转动。

在其中一个实施例中，所述硅片在所述承压面上的投影在所述镂空槽一侧的宽度为200μm～500μm。

另一方面，提供了一种异质结太阳能电池生产系统，包括所述的PVD载具。