[实用新型]一种用于改善金属溅射设备中气缸运动可靠性的结构有效
| 申请号： | 202220261617.9 | 申请日： | 2022-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN217354994U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 张强;盛勇峰 | 申请（专利权）人： | 上海悦匠实业有限公司 |
| 主分类号： | F15B15/14 | 分类号： | F15B15/14;F15B15/20;F15B20/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201600 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于改善金属溅射设备中气缸运动可靠性的结构，包括气缸和气缸固定底座，气缸的气缸导杆的顶部固定固定轴套，固定轴套螺接有连杆一端，连杆上固定磁感应片，气缸固定底座底面且靠近连杆位置固定接近传感器，接近传感器与气缸上位置传感器串接，气缸固定底座顶面固定轴套，轴套内固定直线轴承，连杆另一端穿设气缸固定底座和直线轴承，位置传感器与金属溅射设备中控制器电连接。通过接近传感器来侦测固定轴套和连杆的相对位置，若连杆从固定轴套中松脱，接近传感器会发出异常信号从而及时报警，预防因为连杆松脱而导致的机械故障。将原来铜衬套形式变更为直线轴承机构，大大改善了气缸上的连杆上下运动存在的抖动问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 改善 金属 溅射 设备 气缸 运动 可靠性 结构 | ||
【主权项】：
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