[实用新型]一种用于改善金属溅射设备中气缸运动可靠性的结构

权利要求书

1.一种用于改善金属溅射设备中气缸运动可靠性的结构，其包括气缸和气缸固定底座，其特征在于，所述气缸的气缸导杆的顶部固定有固定轴套，所述固定轴套螺接有连杆的一端，所述连杆上固定有磁感应片，所述气缸固定底座的底面且靠近连杆位置处固定有接近传感器，所述接近传感器与气缸上的位置传感器相串接，所述气缸固定底座的顶面固定有轴套，所述轴套内固定有直线轴承，所述连杆的另一端穿设气缸固定底座和直线轴承，所述位置传感器与金属溅射设备中控制器电连接。

2.如权利要求1所述的用于改善金属溅射设备中气缸运动可靠性的结构，其特征在于，所述轴套利用螺栓固定在气缸固定底座的顶面。