[实用新型]一种用于改善金属溅射设备中气缸运动可靠性的结构

说明书

本实用新型公开一种用于改善金属溅射设备中气缸运动可靠性的结构，包括气缸和气缸固定底座，气缸的气缸导杆的顶部固定固定轴套，固定轴套螺接有连杆一端，连杆上固定磁感应片，气缸固定底座底面且靠近连杆位置固定接近传感器，接近传感器与气缸上位置传感器串接，气缸固定底座顶面固定轴套，轴套内固定直线轴承，连杆另一端穿设气缸固定底座和直线轴承，位置传感器与金属溅射设备中控制器电连接。通过接近传感器来侦测固定轴套和连杆的相对位置，若连杆从固定轴套中松脱，接近传感器会发出异常信号从而及时报警，预防因为连杆松脱而导致的机械故障。将原来铜衬套形式变更为直线轴承机构，大大改善了气缸上的连杆上下运动存在的抖动问题。

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，特别是涉及一种用于改善金属溅射设备中气缸运动可靠性的结构。

背景技术

应用材料的ENDURA 5500是金属溅射的主流设备，在设备的机械传送运动中，运用了大量的气缸带动连杆的机构来完成升降、托举的动作。这套机构结构简单，易于控制，可靠性高，在其他类似的设备上也有大量应用。但是在应用的过程中，会发生气缸和运动机构脱开的情况，由于目前的运动机构的位置侦测依赖于气缸上的位置传感器，这样当异常发生时，位置传感器仍给出正确的位置，机台仍在正常运转。这样机械传动还在正常进行，会导致碰撞、摩擦等故障发生，机台正在传送的晶圆会发生抖动、掉片、破碎，对于产品的良率造成影响。同时，在机台的晶圆托举机构中，运用了大量的铜衬套结构来起到导向作用，此机构只依赖轴和衬套之间的油脂润滑来起到降低摩擦的作用，但是往往发生因为润滑油干涩而发生的抖动的情况，从外部润滑时又无法将润滑油加到实际需要的位置而无法根本解决问题。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的问题和不足，提供一种用于改善金属溅射设备中气缸运动可靠性的结构。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：

本实用新型提供一种用于改善金属溅射设备中气缸运动可靠性的结构，其包括气缸和气缸固定底座，其特点在于，所述气缸的气缸导杆的顶部固定有固定轴套，所述固定轴套螺接有连杆的一端，所述连杆上固定有磁感应片，所述气缸固定底座的底面且靠近连杆位置处固定有接近传感器，所述接近传感器与气缸上的位置传感器相串接，所述气缸固定底座的顶面固定有轴套，所述轴套内固定有直线轴承，所述连杆的另一端穿设气缸固定底座和直线轴承，所述位置传感器与金属溅射设备中控制器电连接。

较佳地，所述轴套利用螺栓固定在气缸固定底座的顶面。

本实用新型的积极进步效果在于：

本实用新型通过接近传感器来侦测固定轴套和连杆的相对位置，如果连杆慢慢从固定轴套中松脱，接近传感器会发出异常信号，此异常信号和气缸位置传感器互锁，从而及时报警，预防因为连杆松脱而导致的机械故障，从而避免产品的大量报废。

本实用新型将金属溅射设备中原来的铜衬套形式变更为直线轴承机构，通过此种改变，大大改善了气缸上的连杆上下运动存在的抖动问题，减少了工艺过程中经常存在的抖动的问题，从而大大降低了金属薄膜溅射过程中的颗粒缺陷。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的连杆和固定轴套处于未松脱状态的结构示意图。

图2为本实用新型较佳实施例的连杆和固定轴套处于松脱状态的结构示意图。

图3为本实用新型较佳实施例的直线轴承的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。