[实用新型]一种可使用载网的扫描电镜样品台有效
申请号: | 202220239657.3 | 申请日: | 2022-01-28 |
公开(公告)号: | CN217359954U | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 周宏敏;李明;范明慧;赵智 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | G01Q30/02 | 分类号: | G01Q30/02;G01Q30/20;G01N23/2204 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 江亚平 |
地址: | 230026 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可使用载网的扫描电镜样品台,该样品台从上至下分顶面承载区、中部阻挡区和底部固定区。顶部承载区具有上大下小的凹槽,用于放置载网,下部槽底开孔镂空,孔径比载网略小。中部阻挡区中间为孔,且具有一定的高度和壁厚,使得入射电子在穿透载网后需经过一段距离的飞行才射入孔底部,使得在底部激发出的信号基本被阻挡区阻挡和吸收,从而避免了对顶部样品测试的影响。底部固定区可根据不同样品台基座的固定要求进行制作,以圆柱为优,便于插入样品台的固定基座。该样品台结构简单,易于制作和操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 使用 扫描电镜 样品 | ||
【主权项】:
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