[实用新型]一种可使用载网的扫描电镜样品台有效
| 申请号： | 202220239657.3 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN217359954U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 周宏敏;李明;范明慧;赵智 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01Q30/02 | 分类号： | G01Q30/02;G01Q30/20;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 江亚平 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 使用 扫描电镜 样品 | ||
【权利要求书】：
1.一种可使用载网的扫描电镜样品台，其特征是：
所述样品台的材质为对X射线吸收率高且在磁场中不受磁性影响的重金属；
所述样品台包括从上到下依次分布的顶部承载区、中部阻挡区以及底部固定区；
所述顶部承载区中部具有上大下小的凹槽，用于放置载网，所述凹槽的槽底开孔镂空，孔径比载网略小；
所述中部阻挡区的中部具有与所述槽底连通的孔，所述孔具有一定的高度和壁厚，使得入射电子在穿透载网后需经过一段距离的飞行才射入该孔底部。
2.根据权利要求1所述的一种可使用载网的扫描电镜样品台，其特征是：
所述样品台的材质为铜。
3.根据权利要求1所述的一种可使用载网的扫描电镜样品台，其特征是：
所述底部固定区为圆柱，该圆柱顶部与所述中部阻挡区底部连接。
4.根据权利要求1所述的一种可使用载网的扫描电镜样品台，其特征是：
所述凹槽上部边缘开有小口。
5.根据权利要求1所述的一种可使用载网的扫描电镜样品台，其特征是：
所述中部阻挡区外壁设有凹槽。
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