[实用新型]一种可使用载网的扫描电镜样品台

说明书

本实用新型公开了一种可使用载网的扫描电镜样品台，该样品台从上至下分顶面承载区、中部阻挡区和底部固定区。顶部承载区具有上大下小的凹槽，用于放置载网，下部槽底开孔镂空，孔径比载网略小。中部阻挡区中间为孔，且具有一定的高度和壁厚，使得入射电子在穿透载网后需经过一段距离的飞行才射入孔底部，使得在底部激发出的信号基本被阻挡区阻挡和吸收，从而避免了对顶部样品测试的影响。底部固定区可根据不同样品台基座的固定要求进行制作，以圆柱为优，便于插入样品台的固定基座。该样品台结构简单，易于制作和操作。

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜的技术领域，具体涉及一种可使用载网的扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜为一种用于材料样品形貌和成分分析的常用仪器设备。通过收集入射电子对样品激发出的二次电子和特征X射线分别进行表面形貌和成分分析。目前，在扫描电镜测试前的制样方法中，对于纳米级的分散颗粒，主要是通过溶剂悬浮分散后将样品滴于载体上，待干燥后再将载体通过导电胶固定到扫描电镜样品台上。载体主要分两类：1、硅片或铜片等载体；2、电镜专用的载网。对于硅片或铜片类的载体，由于过厚，入射电子无法穿透，从而入射电子在穿透样品后射入样品的下方的载体，并形成较大的相互作用区并激发出载体的信号，降低了测试分辨率。对于电镜专用的载网一般为厚度10-30um的多孔金属圆片，圆片底部附有一层很薄的支撑膜用于覆载样品。由于支撑膜很薄，入射电子束可以穿透，但是载网下方直接粘有导电胶，因此入射电子穿透样品和支撑膜后会继续射入下方的导电胶，形成较大的相互作用区，同样会降低测试分辨率。为克服入射电子穿透载网支撑膜后与导电胶相互作用降低分辨率的不足，部分扫描电镜厂商制作了使用载网的专用样品台，但是此类专用样品台又与扫描电镜上通常使用的样品台高度和大小差异较大，导致两类样品台不能同时进入仪器使用，降低了操作上的便捷性和测试效率。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供了一种可使用载网的扫描电镜样品台，其外观高度和大小可与通用的样品台一致，且载网下方为镂空设计，这样既可避免入射电子束穿透载网后与下方的导向胶相互作用影响测试分辨率，又可以与其他常规样品台同时使用，从而提高操作便捷性和测试效率。

本实用新型采用的技术方案为：

一种可使用载网的扫描电镜样品台，所述样品台的材质为对X射线吸收率高且在磁场中不受磁性影响的重金属；

所述样品台包括从上到下依次分布的顶部承载区、中部阻挡区以及底部固定区；

所述顶部承载区中部具有上大下小的凹槽，用于放置载网，所述凹槽的槽底开孔镂空，孔径比载网略小；

所述中部阻挡区的中部具有与所述槽底连通的孔，所述孔具有一定的高度和壁厚，使得入射电子在穿透载网后需经过一段距离的飞行才射入该孔底部。

进一步的，所述样品台的材质为铜。

进一步的，所述底部固定区为圆柱，该圆柱顶部与所述中部阻挡区底部连接。

进一步的，所述凹槽上部边缘开有小口。

进一步的，所述中部阻挡区外壁设有凹槽。

与已有技术相比，本实用新型有益效果体现在：

1、该样品台外观高度和大小可与商用扫描电镜常规的样品台大小一致，从而可以与其他的常规样品台一同使用，提高了仪器操作的便捷性和测试效率。

2、该样品台结构简单，易于制作和操作。

附图说明

图1为样品台示意图；

其中，1为顶面承载区，2为中部阻挡区，3为底部固定区。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型具体实施方式进行说明。