[实用新型]一种晶圆干燥模组上盖有效
| 申请号： | 202220228902.0 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN217383543U | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 陈新来;邓信甫;唐宝国;徐铭 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;合肥至汇半导体应用技术有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/00 | 分类号： | F26B5/00;F26B21/14;F26B25/10 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆干燥模组上盖，包括底部盖板、设置在底部盖板上的第一腔室，还包括设置在第一腔室内的用以向晶圆干燥模组内排放加热的氮气和异丙醇的混合物的混合排放管、用以向晶圆干燥模组内排放氮气的氮气管、用以向晶圆干燥模组内排放异丙醇气体的异丙醇管；底部盖板上设有若干排气口，混合排放管、氮气管及异丙醇管位于第一腔室内的管壁上还设有出气口；第一腔室的外壁还分别设有氮气输入接口、异丙醇输入接口、混合输入接口。晶圆干燥模组上盖可以分别向干燥模组内充入氮气、异丙醇气体以及加热后的氮气和异丙醇的混合物质，有助于破坏高深宽比孔穴或孔柱结构的表面张力，使得空乏区内的水分子被不断析出，提升干燥效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干燥 模组 | ||
【主权项】：
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