[实用新型]一种晶圆干燥模组上盖

权利要求书

1.一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，其结构包括底部盖板、设置在底部盖板上的第一腔室，还包括设置在第一腔室内的用以向晶圆干燥模组内排放加热的氮气和异丙醇的混合物的混合排放管、用以向晶圆干燥模组内排放氮气的氮气管、用以向晶圆干燥模组内排放异丙醇气体的异丙醇管；所述底部盖板上设有若干排气口，所述混合排放管、氮气管及异丙醇管位于第一腔室内的管壁上还设有出气口；所述第一腔室的外壁还分别设有向氮气管输入氮气的氮气输入接口、向异丙醇管中输入异丙醇气体的异丙醇输入接口、向混合排放管内输入加热后的氮气和异丙醇的混合物的混合输入接口。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，所述氮气管及异丙醇管平行设置在第一腔室内，所述氮气管的端部和异丙醇管的端部分别延伸穿过第一腔室的侧壁，所述氮气输入接口连接到氮气管的端部，所述异丙醇输入接口连接到异丙醇管的端部。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，所述混合排放管包括平行设置的方管，所述方管的底部贴靠底部盖板的上端面；所述混合排放管的出气口设置在方管的底部且与排气口直接连通。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，所述方管之间还连接有连接管，所述连接管的中部设有配合混合输入接口的连接管接口。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，所述连接管接口设置在第一腔室的上端；所述第一腔室上端还设有第二腔室，所述混合输入接口和连接管接口的连接位置位于第二腔室内。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，所述第二腔室可拆卸安装在第一腔室的上端。

7.根据权利要求5所述的一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，所述混合输入接口一端延伸穿过第二腔室的侧壁，所述第一腔室一侧的底部盖板上还设有用以混合输入接口支撑的支撑件。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，所述混合输入接口上还设有用以加热后的氮气和异丙醇温度和流量监测的监测装置。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，所述底部盖板的一侧还设有用以驱动底部盖板水平移动的驱动装置。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，所述底部盖板的一侧还设有用以底部盖板平移后承载底部盖板的托板。