[实用新型]一种晶圆干燥模组上盖

说明书

本实用新型涉及一种晶圆干燥模组上盖，包括底部盖板、设置在底部盖板上的第一腔室，还包括设置在第一腔室内的用以向晶圆干燥模组内排放加热的氮气和异丙醇的混合物的混合排放管、用以向晶圆干燥模组内排放氮气的氮气管、用以向晶圆干燥模组内排放异丙醇气体的异丙醇管；底部盖板上设有若干排气口，混合排放管、氮气管及异丙醇管位于第一腔室内的管壁上还设有出气口；第一腔室的外壁还分别设有氮气输入接口、异丙醇输入接口、混合输入接口。晶圆干燥模组上盖可以分别向干燥模组内充入氮气、异丙醇气体以及加热后的氮气和异丙醇的混合物质，有助于破坏高深宽比孔穴或孔柱结构的表面张力，使得空乏区内的水分子被不断析出，提升干燥效果。

技术领域

本实用新型涉及晶圆干燥设备领域，具体涉及一种晶圆干燥模组上盖。

背景技术

晶圆干燥技术作为晶圆清洗的收尾环节，需要有效清除晶圆表面的水分，同时需要对晶圆表面的清洁度进行控制。

现有的干燥工艺使得晶圆产品类型受到限制，晶圆产品分为表面无加工的晶圆片、表面处理后平整的晶圆片以及具有部分图案的晶圆产品，第三种晶圆产品表面图案的存在，对于较高深宽比的图案，图案表面张力构成的毛细现象导致水分吸附高深宽比的孔穴或者孔柱，水分子回流到图案底下的空乏区，干燥过程中仅表面干燥，空乏区内的水分难以干燥，干燥效果不理想。

发明内容

为了解决上述技术问题，提出了采用混合加热氮气和异丙醇气体以及纯氮气和纯异丙醇的方式破坏高深宽比孔穴或孔柱结构的表面张力，使得空乏区内的水分子被不断析出，基于此，本实用新型提供了一种晶圆干燥模组上盖，借助该晶圆干燥模组上盖实现混合加热氮气和异丙醇气体以及纯氮气、纯异丙醇的输送。

本实用新型的技术目的是通过以下技术方案实现的：

一种晶圆干燥模组上盖，其结构包括底部盖板、设置在底部盖板上的第一腔室，还包括设置在第一腔室内的用以向晶圆干燥模组内排放加热的氮气和异丙醇的混合物的混合排放管、用以向晶圆干燥模组内排放氮气的氮气管、用以向晶圆干燥模组内排放异丙醇气体的异丙醇管；底部盖板上设有若干排气口，混合排放管、氮气管及异丙醇管位于第一腔室内的管壁上还设有出气口；第一腔室的外壁还分别设有向氮气管输入氮气的氮气输入接口、向异丙醇管中输入异丙醇气体的异丙醇输入接口、向混合排放管内输入加热后的氮气和异丙醇的混合物的混合输入接口。

进一步地，氮气管及异丙醇管平行设置在第一腔室内，氮气管的端部和异丙醇管的端部分别延伸穿过第一腔室的侧壁，氮气输入接口连接到氮气管的端部，异丙醇输入接口连接到异丙醇管的端部。

进一步地，混合排放管包括平行设置的方管，方管的底部贴靠底部盖板的上端面；混合排放管的出气口设置在方管的底部且与排气口直接连通。

进一步地，方管之间还连接有连接管，连接管的中部设有配合混合输入接口的连接管接口。

进一步地，连接管接口设置在第一腔室的上端；第一腔室上端还设有第二腔室，混合输入接口和连接管接口的连接位置位于第二腔室内。

进一步地，第二腔室可拆卸安装在第一腔室的上端。

进一步地，混合输入接口一端延伸穿过第二腔室的侧壁，第一腔室一侧的底部盖板上还设有用以混合输入接口支撑的支撑件。

进一步地，混合输入接口上还设有用以加热后的氮气和异丙醇温度和流量监测的监测装置。

进一步地，底部盖板的一侧还设有用以驱动底部盖板水平移动的驱动装置。

进一步地，底部盖板的一侧还设有用以底部盖板平移后承载底部盖板的托板。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：