[实用新型]一种真空镀膜修正结构有效
| 申请号： | 202220223902.1 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN216838166U | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 陈卫民;杨瑞凤;王捷 | 申请（专利权）人： | 广州先艺电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 黄志铖 |
| 地址： | 511400 广东省广州市番禺区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜技术领域，更具体地，涉及一种真空镀膜修正结构，包括修正板，一端连接修正板且用于调节修正板放置角度的旋转组件，连接旋转组件另一端且用于调节修正板放置高度的调节套杆。本实用新型克服现有的镀膜修正板遮挡角度、遮挡阴影面调整不够灵活的问题，本实用新型适用于不同蒸发速率的靶材，无需根据不同靶材频繁更换修正板，修正板组件遮挡角度灵活可调，满足更多镀膜场景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 修正 结构 | ||
【主权项】：
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