[实用新型]一种真空镀膜修正结构有效
申请号: | 202220223902.1 | 申请日: | 2022-01-26 |
公开(公告)号: | CN216838166U | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 陈卫民;杨瑞凤;王捷 | 申请(专利权)人: | 广州先艺电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54;C23C14/24 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 黄志铖 |
地址: | 511400 广东省广州市番禺区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 修正 结构 | ||
1.一种真空镀膜修正结构,其特征在于,包括修正板(1),一端连接所述修正板(1)且用于调节所述修正板(1)放置角度的旋转组件(2),连接所述旋转组件(2)另一端且用于调节修正板(1)放置高度的调节套杆(3)。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜修正结构,其特征在于,所述修正板(1)包括相互重叠且一端铰接的第一修正板(11)和第二修正板(12)。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜修正结构,其特征在于,所述修正板(1)为纺锤形、圆形或椭圆形中的一种。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜修正结构,其特征在于,所述旋转组件(2)包括连接架(21),一端穿设于所述连接架(21)上且另一端固定连接所述修正板(1)的螺纹杆(22),所述连接架(21)开设有与所述螺纹杆(22)的外螺纹相配合的螺纹孔。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜修正结构,其特征在于,所述螺纹杆(22)的一端上还设有用于限制螺纹杆(22)脱出所述连接架(21)的螺母(23)。
6.根据权利要求4所述的真空镀膜修正结构,其特征在于,所述调节套杆(3)包括一端与所述连接架(21)连接的水平杆(31),活动连接所述水平杆(31)另一端的竖直杆(32),以及连接所述竖直杆(32)且用于锁定所述水平杆(31)相对于所述竖直杆(32)的不同位置的第一固定螺栓(33)。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜修正结构,其特征在于,所述水平杆(31)和所述竖直杆(32)之间通过T型三通管(34)连接,所述水平杆(31)连接所述T型三通管(34)的支管道,所述竖直杆(32)活动穿设于所述T型三通管(34)的主管道,所述第一固定螺栓(33)穿设在所述T型三通管(34)的主管道上。
8.根据权利要求4所述的真空镀膜修正结构,其特征在于,所述调节套杆(3)包括一端连接所述连接架(21)的折杆(35),活动套设于所述折杆(35)另一端的套杆(36),所述套杆(36)上还穿设有用于锁定所述折杆(35)在套杆(36)中的移动位置的第二固定螺栓(37)。
9.根据权利要求8所述的真空镀膜修正结构,其特征在于,所述折杆(35)为直角折杆。
10.根据权利要求9所述的真空镀膜修正结构,其特征在于,所述折杆(35)插设在所述套杆(36)内的一端还设有与所述套杆(36)的内侧壁抵接的对中块(38)。
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