[实用新型]晶圆对准校验装置有效
| 申请号： | 202220165395.0 | 申请日： | 2022-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN217385245U | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 邓煌辉;杨光 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01;G01B11/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京头头知识产权代理有限公司 11729 | 代理人： | 白芳仿;刘锋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆键合设备技术领域，具体涉及一种晶圆对准校验装置，包括晶圆固定单元、红外光学单元、Z轴粗动装置、Z轴精动装置，所述红外光学单元连接于所述Z轴粗动装置上，所述Z轴精动装置连接于所述红外光学单元上，所述Z轴粗动装置适于带动所述Z轴精动装置及所述红外光学单元在垂直方向上上下移动，所述Z轴精动装置适于带动所述红外光学单元在垂直方向上上下移动，所述Z轴粗动装置、所述Z轴精动装置及所述红外光学单元适于在X轴方向上左右移动，所述Z轴粗动装置、所述Z轴精动装置及所述红外光学单元适于在Y轴方向上前后移动，所述晶圆固定单元位于所述红外光学单元下方。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 校验 装置 | ||
【主权项】：
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