[实用新型]晶圆对准校验装置

权利要求书

1.一种晶圆对准校验装置，其特征在于，包括晶圆固定单元(3)、红外光学单元(10)、Z轴粗动装置(12)、Z轴精动装置(11)，所述红外光学单元(10)连接于所述Z轴粗动装置(12)上，所述Z轴精动装置(11)连接于所述红外光学单元(10)上，所述Z轴粗动装置(12)适于带动所述Z轴精动装置(11)及所述红外光学单元(10)在垂直方向上上下移动，所述Z轴精动装置(11)适于带动所述红外光学单元在垂直方向上上下移动，所述Z轴粗动装置(12)、所述Z轴精动装置(11)及所述红外光学单元(10)适于在X轴方向上左右移动，所述Z轴粗动装置(12)、所述Z轴精动装置(11)及所述红外光学单元(10)适于在Y轴方向上前后移动，所述晶圆固定单元(3)位于所述红外光学单元(10)下方。

2.根据权利要求1所述的晶圆对准校验装置，其特征在于，还包括横梁(8)，所述横梁(8)沿X轴方向设置，所述横梁(8)上设置有第一直线导轨(7)，所述Z轴粗动装置(12)适于带动所述Z轴精动装置(11)及所述红外光学单元(10)沿所述第一直线导轨(7)左右移动。

3.根据权利要求2所述的晶圆对准校验装置，其特征在于，还包括第一纵梁(1)、第二纵梁(4)，所述第一纵梁(1)、所述第二纵梁(4)均位于所述横梁(8)下方，所述第二纵梁(4)与所述第一纵梁(1)相互平行，所述第二纵梁(4)与所述第一纵梁(1)相对设置，所述第一纵梁(1)上设置有第一Y轴直线导轨(5)，所述第二纵梁(4)上设置有第二Y轴直线导轨(9)，所述横梁(8)适于相对所述第一Y轴直线导轨(5)、所述第二Y轴直线导轨(9)同步移动。

4.根据权利要求3所述的晶圆对准校验装置，其特征在于，所述横梁(8)上设置有第一滑块、第二滑块，所述第一滑块、所述第二滑块分别位于所述横梁(8)沿长度方向的两端，所述第一滑块相对所述第一Y轴直线导轨(5)移动，所述第二滑块相对所述第二Y轴直线导轨(9)移动。

5.根据权利要求4所述的晶圆对准校验装置，其特征在于，所述晶圆固定单元(3)为吸附装置。

6.根据权利要求5所述的晶圆对准校验装置，其特征在于，所述Z轴粗动装置(12)包括粗动装置电机及与所述粗动装置电机相连接的滑板(121)，所述滑板(121)与所述红外光学单元(10)相连接，所述粗动装置电机适于带动所述滑板(121)上下移动。

7.根据权利要求6所述的晶圆对准校验装置，其特征在于，所述红外光学单元(10)包括相机(101)、镜组(102)、光源(103)、物镜(104)，所述光源(103)发出的光经所述镜组(102)反射后经所述物镜(104)至所述晶圆对(6)的标记点上，所述晶圆对(6)的标记点发射的光线经所述物镜(104)放大后投射于所述相机(101)上。

8.根据权利要求7所述的晶圆对准校验装置，其特征在于，所述Z轴精动装置(11)为物镜定位器，所述物镜定位器包括外圈、内圈，所述物镜定位器外圈与所述红外光学单元(10)相连接，所述物镜定位器内圈与所述物镜(104)相连接，所述物镜定位器外圈驱动所述物镜定位器内圈，带动所述物镜(104)沿Z轴上、下移动。