[实用新型]一种固晶机摆臂装置有效
| 申请号： | 202220092928.7 | 申请日： | 2022-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN216487980U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 高勇;包基寿;高小龙;方潮 | 申请（专利权）人： | 杭州杭定电子产品有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 浙江维创盈嘉专利代理有限公司 33477 | 代理人： | 于岩 |
| 地址： | 311100 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种固晶机摆臂装置，属于半导体封装设备的技术领域，其技术方案要点是包括：固晶机本体；工作台，所述工作台置于固晶机本体的一侧；放置台，所述放置台置于固晶机本体的另一侧；摆臂组件，所述摆臂组件安装于固晶机本体上，所述摆臂组件包括第一电机、摆臂体；调节机构，所述调节机构置于摆臂体上；吸嘴组件，所述吸嘴组件置于摆臂体上。本申请提供一种固晶机摆臂装置，保护晶片表面质量不受损伤的同时也能够提供所需的固晶压力，提高固晶精度和固晶效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固晶机摆臂 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
