[发明专利]一种地质勘探传感器装置及其制造方法在审
| 申请号： | 202211726903.9 | 申请日： | 2022-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN116013918A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 王景广 | 申请（专利权）人： | 山东省鲁南地质工程勘察院（山东省地质矿产勘查开发局第二地质大队） |
| 主分类号： | H01L25/16 | 分类号： | H01L25/16;H01L31/0203;H01L31/02;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳市育科知识产权代理有限公司 44509 | 代理人： | 陶秋 |
| 地址： | 272100 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种地质勘探传感器装置及其制造方法，该装置包括：控制芯片、具有凸起部和平坦部的第一密封层、在第一密封层上的布线层、通过第一焊球接合至布线层上的传感器芯片以及至少覆盖传感器芯片的侧面和上表面的第二密封层。本发明先将传感器芯片和控制芯片进行接合，然后再一起进行二次封装，最后接合盖板，这样，使得传感器芯片和控制芯片的电传输路径最短，且实现电接合的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 地质勘探 传感器 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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