[发明专利]高耐受功率透明导电薄膜的制备方法及透明导电薄膜有效
| 申请号： | 202211700875.3 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN115691903B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 贾克辉;黄建兵;周鑫磊;黄建明 | 申请（专利权）人： | 苏州领锐源奕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;H01B5/14;C23C14/30;C23C14/50;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 赵迎迎 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开一种高耐受功率透明导电薄膜的制备方法及透明导电薄膜。该方法包括提供基片；在基片的一侧放置镀膜夹具的第一子基板；其中镀膜夹具包括第一子基板和第二子基板，第一子基板上设置有第一蒸镀孔，第二子基板上设置有第二蒸镀孔；第一蒸镀孔在基片的正投影与第二蒸镀孔在基片的正投影至少部分错开；在基片邻近第一子基板的一侧，形成第一介电薄膜；移除第一子基板；在基片邻近第一介电薄膜的一侧，放置镀膜夹具的第二子基板；在基片邻近第二子基板的一侧形成第二介电薄膜。本实施例提供的技术方案制备的高耐受功率透明导电薄膜的电场强度分布调谐，得到周期性结构的透明导电薄膜，提高了高耐受功率透明导电薄膜的抗激光损伤性能。 | ||
| 搜索关键词： | 耐受 功率 透明 导电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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