[发明专利]一种离子植入机及晶圆固定板的角度确定方法在审
| 申请号： | 202211699610.6 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116031125A | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 裴敏强 | 申请（专利权）人： | 武汉楚兴技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/317;H01L21/68;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王晓芬 |
| 地址： | 430040 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供一种离子植入机及晶圆固定板的角度确定方法，包括晶圆固定板，用于固定晶圆；驱动组件，与晶圆固定板固定连接，通过控制驱动组件转动以改变晶圆固定板与竖直方向之间的角度；驱动组件具有与晶圆固定板平行的目标表面；位于离子植入机内侧壁上的激光发射器；激光发射器用于发射激光；位于目标表面上的至少一个反射镜；反射镜用于对从激光发射器发出的激光进行反射；位于离子植入机内侧壁上的激光接收器；激光接收器用于接收经过反射镜反射的激光，激光接收器接收到激光的目标位置用于确定晶圆固定板与竖直方向之间的角度。通过测量目标位置的变化可以确定出晶圆固定板的角度变化，操作方便且准确度较高，可实时检测晶圆固定板的角度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 植入 固定 角度 确定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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