[发明专利]一种离子植入机及晶圆固定板的角度确定方法

权利要求书

1.一种离子植入机，其特征在于，包括：

晶圆固定板，用于固定晶圆；

驱动组件，与所述晶圆固定板固定连接，通过控制所述驱动组件转动以改变所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度；所述驱动组件具有目标表面，所述目标表面与所述晶圆固定板平行；

位于所述离子植入机内侧壁上的激光发射器；所述激光发射器用于发射激光；

位于所述目标表面上的至少一个反射镜；所述反射镜用于对从所述激光发射器发出的激光进行反射；

位于所述离子植入机内侧壁上的激光接收器；所述激光接收器用于接收经过所述反射镜反射的激光，所述激光接收器接收到激光的目标位置用于确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度。

2.根据权利要求1所述的离子植入机，其特征在于，位于所述目标表面上的反射镜的数量为M个，所述M大于1，所述离子植入机还包括：

位于所述离子植入机内侧壁上的至少一个反射镜，用于对由位于所述目标表面上的反射镜反射的激光进行反射，位于所述离子植入机内侧壁上的反射镜的数量为N个，其中M＝N+1。

3.根据权利要求2所述的离子植入机，其特征在于，位于所述离子植入机内侧壁上的反射镜与竖直方向之间的夹角小于或等于15°。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的方法，其特征在于，位于所述目标表面上的反射镜的数量小于或等于5个。

5.一种晶圆固定板的角度确定方法，其特征在于，包括：

获取如权利要求1-4任意一项所述的离子植入机的激光接收器接收到激光的目标位置；

根据所述目标位置相对于预设位置的变化量，确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度；所述预设位置为所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度为基准角度时，所述激光接收器接收到所述激光的位置。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标位置相对于预设位置的变化量，确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度，包括：

根据所述目标位置相对于预设位置的变化量以及线性关系，确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度；所述线性关系为所述目标位置相对于预设位置的变化量，与所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度相对于所述基准角度的变化量之间的关系。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在所述目标表面上设置一个反射镜时，所述线性关系具体为：

Δy＝L×sin 2Δθ

其中，所述Δy为所述目标位置相对于预设位置的变化量，所述L为所述反射镜与所述离子植入机的内侧壁之间的距离，所述Δθ为所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度相对于所述基准角度的变化量。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述目标表面上设置多个反射镜时，所述离子植入机内侧壁上具有至少一个反射镜，所述根据所述目标位置相对于预设位置的变化量，确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度，包括：

获取所述目标位置相对于预设位置的变化量，与所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度相对于所述基准角度的变化量之间的线性关系；

根据所述目标位置相对于预设位置的变化量以及所述线性关系，确定所述晶圆固定板与竖直方向之间的角度。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述目标位置相对于预设位置的变化量与反射镜总数量具有正相关性；所述反射镜总数量为位于所述目标表面上的反射镜数量与位于所述离子植入机内侧壁上的反射镜数量之和。

10.一种离子植入系统，包括如权利要求1-4任意一项所述的离子植入机和控制器，所述控制器用于执行如权利要求5-9任意一项所述的晶圆固定板的角度确定方法。