[发明专利]微流控器件及其制作方法和应用在审
| 申请号： | 202211644218.1 | 申请日： | 2022-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN116215081A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 陈诚 | 申请（专利权）人： | 武汉敏捷微电子有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;B81C1/00 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 方菲 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区佛祖岭街流芳大道5*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微流控器件及其制作方法和应用。本发明的微流控器件的制作方法包括：在晶圆衬底上形成绝热绝缘层，在绝热绝缘层上形成金属导线和预设槽孔结构，在预设槽孔结构上形成薄膜电阻器，在薄膜电阻器区域和金属导线层上形成钝化层，针对预设槽孔结构区域形成流体容纳腔，制作腔体内壁的亲水性薄膜，采用感光干膜的工艺方法制作喷嘴，形成将电阻器、腔体和喷嘴制作在同一芯片上的集成器件。本发明提升微流控器件的芯片集成度，简化工艺流程，降低制造成本，提升打印头芯片的一致性、稳定性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 微流控 器件 及其 制作方法 应用 | ||
【主权项】：
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