[发明专利]一种压力检测结构以及制备方法在审
| 申请号： | 202211629096.9 | 申请日： | 2022-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN115867112A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 曾祥雯;肖韩;王荣;叶乐;黄如 | 申请（专利权）人： | 杭州未名信科科技有限公司;浙江省北大信息技术高等研究院 |
| 主分类号： | H10N39/00 | 分类号： | H10N39/00;H10N30/30;H10N70/20;H10B63/00;H10N79/00;H01L23/522;H01L23/528;H01L21/82 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 史晶晶 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市萧*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压力检测结构以及制备方法。一种压力检测结构，包括：衬底；位于衬底上的金属互连层；位于金属互联层上方的多个RRAM存储单元，每个存储单元通过一一对应的第一金属栓塞与金属互联层连接；每个RRAM存储单元上方一一对应设有一个压阻式传感器单元，并且每个RRAM存储单元与其对应的压阻式传感器单元通过第二金属栓塞连接。本发明将压力传感器单元和RRAM单元串联一起实现了压力传感信号的存储，无需经过模数转换器和寄存器就能实现对传感信号的存储，从而提升了信息传输效率和能效，降低了功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力 检测 结构 以及 制备 方法 | ||
【主权项】：
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