[发明专利]一种多层式湿化学处理设备在审
| 申请号： | 202211596301.6 | 申请日： | 2022-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN116371803A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 付金海;高志峰;吴晋;黄允文;刘二壮 | 申请（专利权）人： | 上海普达特半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 杨胜军 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海）*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本公开内容公开了一种多层式湿化学处理设备，所述多层式湿化学处理设备至少包括第一清洗单元和第二清洗单元，其中，所述第一清洗单元通过上下叠置的方式布置在所述第二清洗单元之上，并且其中，所述第二清洗单元的顶部盖板被构造为平面。由于依据本公开内容的多层式湿化学处理设备所包括的位于下层的清洗单元的顶部盖板被构造为平面，所以多个清洗单元能够以上下叠置的方式进行布置，这一方面提高了清洗效率另一方面也减小了湿化学处理设备的占用面积，降低场地成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 化学 处理 设备 | ||
【主权项】：
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